STUDI PENUMBUHAN FILM TIPIS GALIUM NITRIDA DI ATAS SUBSTRAT GaAs DENGAN METODE METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION BERBANTUAN PLASMA
Item Type | |
---|---|
Language | English |
Keywords |
|
Author |
Ido Shinji
井土 愼二 |
Abstract |
|
Journal or Publication Title | STUDI PENUMBUHAN FILM TIPIS GALIUM NITRIDA DI ATAS SUBSTRAT GaAs DENGAN METODE METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION BERBANTUAN PLASMA |
Publisher | |
Volume | |
Number | |
Page Range | |
Year | 0 |
ISSN |
|
DOI |
|
URI | |